רובוט וואפר (Wafer Robot)

אפיון המערכת דורש התייחסות מחמירה לרמת הניקיון, סוג האחיזה ודינמיקת התנועה בסביבות ואקום או לחץ אטמוספרי.

סיווג טכני ויתרונות

• הינע ישיר (Direct Drive) ובקרת סרוו – שימוש במנועים המאפשרים תנועה רציפה ומדויקת ללא חופש מכני (Backlash), למזעור רעידות בזמן השינוע.
• עמידות בתקני חדר נקי (Clean Room) – תכנון מחומרים בעלי פליטת חלקיקים נמוכה ביותר ועמידות בתהליכי ניקוי וסטריליזציה מחמירים.
• מערכות אחיזה ורסטיליות – אפשרות לשילוב אחיזת ואקום, אחיזה מכנית עדינה או מנגנוני היפוך המותאמים לטיפול ב-Mini Panels, רכיבי LED ומצעי סיליקון.
• אינטגרציה למערכות EFEM – תמיכה מלאה באוטומציה של יחידות קצה הכוללת חיישנים חכמים לזיהוי חריגות בזמן אמת.

יישומים מרכזיים בתעשייה

• ייצור שבבים (Fabs) – שינוע אוטומטי של פרוסות סיליקון בין שלבי הפוטוליתוגרפיה, הצריבה והבדיקה.
• תעשיית ה-LED והאופטואלקטרוניקה – טיפול עדין במצעים רגישים הדורשים רמת דיוק גבוהה וחזרתיות יציבה.
• מרכזי מחקר ופיתוח (R&D) – הטמעת מערכות רובוטיות גמישות לפיתוח תהליכי ייצור חדשניים בסביבות נקיות.
• בדיקה ומדידה (Metrology) – מיקום מדויק של הוואפרים תחת מערכות אופטיות ומצלמות בחינה ללא יצירת שריטות או נזק פיזי.